智能制造推动半导体产业变革

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智能制造推动半导体产业变革

佚 名

【期刊名称】《中国机械》 【年(卷),期】2015(0)24

【摘 要】半导体芯片制造是迄今为止人类创造最复杂的工艺过程。以14纳米晶圆工艺为例,几乎是头发丝的5000分之一,全部流程需要1100个步骤。而即便在如此精密的半导体产业,也需要智能制造,提升生产效率。目前电子信息制造领域的自动化、智能化水平,仅次于汽车工业。 【总页数】1页(P94-94) 【正文语种】中 文 【中图分类】F426.63 【相关文献】

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